大(dà)幅面(miàn)白(bái)光(guāng)干(gàn)涉顯微鏡(jìng) Micro L
优勢
✔️ 具備納米(mǐ)級縱向分(fēn)辨率，可(kě)滿足超光(guāng)滑抛光(guāng)表(biǎo)面(miàn)測量(liàng)分(fēn)析
✔️ 簡單、精确、快(kuài)速、可(kě)重(zhòng)複的(de)測量(liàng)方(fāng)式
✔️ 單次(cì)測量(liàng)視场(chǎng)大(dà)，芯片(piàn)翹曲(qū)測量(liàng)無需拼接
✔️ 高(gāo)效率大(dà)區(qū)域三(sān)維輪廓測量(liàng)能(néng)力
功能(néng)
✔️ 表(biǎo)面(miàn)翹曲(qū)/3D微结構測量(liàng)
✔️ 白(bái)光(guāng)干(gàn)涉（PSI/VSI）：納米(mǐ)級測量(liàng)精度(dù)
✔️ 大(dà)面(miàn)积3D輪廓掃測
✔️ 适合高(gāo)效率高(gāo)精度(dù)宏微觀三(sān)維測量(liàng)
适用(yòng)对(duì)象(xiàng)
精密抛光(guāng)元(yuán)件(jiàn)，微納加工器件(jiàn)，金(jīn)属機(jī)加工零(líng)件(jiàn)等
測量(liàng)原理(lǐ)
- 采用(yòng)双(shuāng)白(bái)光(guāng)干(gàn)涉測量(liàng)模組系(xì)統架構，通(tòng)过(guò)不同倍率干(gàn)涉顯微系(xì)統實(shí)现區(qū)域和(hé)微觀三(sān)維測量(liàng)。
- 白(bái)光(guāng)干(gàn)涉顯微測量(liàng)原理(lǐ)：采用(yòng)白(bái)光(guāng)光(guāng)源，将非(fēi)相干(gàn)光(guāng)干(gàn)涉和(hé)大(dà)視场(chǎng)顯微成(chéng)像技術(shù)相结合，高(gāo)精度(dù)重(zhòng)構微觀三(sān)維輪廓，縱向測量(liàng)分(fēn)辨率可(kě)达(dá)到(dào)亚納米(mǐ)量(liàng)級
從産品研發(fà)到(dào)質(zhì)量(liàng)控制，Micro L_Pro 可(kě)以(yǐ)用(yòng)于(yú)对(duì)從超光(guāng)滑鏡(jìng)面(miàn)到(dào)粗(cū)糙面(miàn)的(de)各(gè)種(zhǒng)樣(yàng)品進(jìn)行表(biǎo)面(miàn)微觀測量(liàng)分(fēn)析和(hé)粗(cū)糙度(dù)質(zhì)量(liàng)评價。
實(shí)測案(àn)例
棱鏡(jìng)端面(miàn)反(fǎn)射面(miàn)平面(miàn)度(dù)實(shí)測案(àn)例
測量(liàng)分(fēn)析软(ruǎn)件(jiàn)
Micro1000 技術(shù)規格
| 項目 | 參數 | |
|---|---|---|
| 技術(shù)參數 | 測量(liàng)模式 | PSI / VSI / 明(míng)场(chǎng)（綠(lǜ)光(guāng)/白(bái)光(guāng)双(shuāng)光(guāng)源） |
| 單次(cì)測量(liàng)視场(chǎng)（0.5x 物(wù)鏡(jìng)） | 16.8*12.8mm (可(kě)自動(dòng)拼接更大(dà)面(miàn)积）) | |
| 單次(cì)測量(liàng)視场(chǎng)（20x 物(wù)鏡(jìng)） | 0.5*0.35mm (可(kě)自動(dòng)拼接更大(dà)面(miàn)积）) | |
| 縱向掃描范圍 | 0-10mm | |
| 可(kě)測樣(yàng)品反(fǎn)射率 | 0.1%-100% | |
| 縱向分(fēn)辨率(0.5x干(gàn)涉模組） | < 1 nm | |
| 縱向分(fēn)辨率(20x物(wù)鏡(jìng)白(bái)光(guāng)干(gàn)涉模組） | <0.2 nm | |
| 高(gāo)度(dù)測量(liàng)示值誤差 | < 0.75 % | |
| 粗(cū)糙度(dù)RMS重(zhòng)複性(xìng) | 0.01 nm(20x干(gàn)涉物(wù)鏡(jìng)) | |
| 橫向分(fēn)辨率：@550nm | 11μm (0.5x干(gàn)涉物(wù)鏡(jìng))，0.69μm (20x干(gàn)涉物(wù)鏡(jìng)) | |
| 測量(liàng)时(shí)間(jiān) | ＜5s （PSI模式） | |
| XY平移台(tái) | 150 mm 行程，10 kg 負载(zài) | |
| Z軸位(wèi)移台(tái) | 90 mm 行程 | |
| 水平調整 | ± 13° | |
|
分(fēn)析功能(néng) |
分(fēn)析功能(néng) | 三(sān)維高(gāo)度(dù)測量(liàng)，三(sān)維粗(cū)糙度(dù)分(fēn)析，二(èr)維尺(chǐ)寸(cùn)測量(liàng) |
| 3D數據(jù)輸出(chū) | 3D點(diǎn)雲(yún)數據(jù)，灰度(dù)图(tú)像數據(jù)，訂制報告 | |
Micro L-Pro 操作(zuò)簡便，測量(liàng)功能(néng)完善，涵蓋納米(mǐ)級微觀三(sān)維輪廓，粗(cū)糙度(dù)和(hé)二(èr)維尺(chǐ)寸(cùn)分(fēn)析，通(tòng)用(yòng)性(xìng)強(qiáng)，精度(dù)高(gāo)，助力我们的(de)客戶在(zài)精密制造和(hé)材料研發(fà)中(zhōng)處(chù)于(yú)領先(xiān)地(dì)位(wèi)。
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